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積體電路晶片超純水裝置

2022-11-23

  半導體↟₪·、積體電路晶片及封裝↟₪·、液晶顯示↟₪·、高精度線路板↟₪·、光電器件↟₪·、各種電子器件↟₪·、微電子工業↟₪·、大規模↟₪·、超大規模積體電路需用大量的高純水↟₪·、超純水清洗半成品↟₪·、成品☁₪◕。積體電路的整合度越高··╃·,對水質的要求也越高☁₪◕。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準··╃·,分別為18MΩ.cm↟₪·、15MΩ.cm↟₪·、10MΩ.cm↟₪·、2MΩ.cm↟₪·、0.5MΩ.cm··╃·,以區分不同水質☁₪◕。

  積體電路晶片超純水裝置原理

  EDI超純水系統是利用混和離子交換樹脂吸附給水中的陰陽離子··╃·,被吸附的離子在直流電壓的作用下··╃·,分別透過陰陽離子交換膜而被除去的過程☁₪◕。電滲析器的一對電極之間··╃·,通常由陰膜↟₪·、陽膜和隔板多組交替排列··╃·,構成濃室和淡室(即陽離子可透過陽膜↟₪·、陰離子可透過陰膜)☁₪◕。淡室水中陽離子向負極遷移透過陽膜··╃·,被濃室中的陰膜截留··╃·,水中陰離子向正極方向遷移陰膜··╃·,被濃室中的陽膜截留··╃·,這樣透過淡室的水中離子數逐漸減少··╃·,成為淡水☁₪◕。而濃室的水中··╃·,由於濃室的陰陽離子不斷湧進··╃·,電介質離子濃度不斷升高··╃·,而成為濃水··╃·,從而達到淡化↟₪·、提純↟₪·、濃縮或精製的目的☁₪◕。這一過程離子交換樹脂是電連續再生的··╃·,因此不需要使用酸和鹼對之再生☁₪◕。製取超純水的這一新技術可以替代傳統的離子交換裝置··╃·,生產出高達18M-CM的超純水☁₪◕。

  

 

  積體電路晶片超純水裝置優勢及特點

  1↟₪·、工作壓力高··╃·,不漏水◕₪✘:由於模組採用了橡膠O型圈多層密封··╃·,保證了模組耐壓高↟₪·、不漏水☁₪◕。

  2↟₪·、無化學物質使用◕₪✘:由於濃水中填充了技術樹脂··╃·,降低了膜電阻··╃·,因此係統中不需要濃水迴圈及注鹽在淡水室填充分層排列樹脂··╃·,更有利於弱電解質的祛除☁₪◕。

  3↟₪·、系統簡單··╃·,配管簡單··╃·,僅需3支配管(進水管··╃·,產品水管和濃水管)··╃·,無迴圈泵及注鹽系統··╃·,不需要PLC程式控制器··╃·,系統建造成本和維護費用低☁₪◕。

  4↟₪·、濃水回收··╃·,濃水水質(20-100μS/cm)優於原水水質··╃·,可回收至RO前繼續使用☁₪◕。

  5↟₪·、其他優勢··╃·,系統不注鹽··╃·,因此不產生氯氣破壞模組內部結構及汙染周圍環境··╃·,獨立的模組電源控制··╃·,單一模組需維修··╃·,不影響其他模組正常工作☁₪◕。

  EDI超純水系統的應用領域

  EDI超純水系統適用於電子↟₪·、半導體↟₪·、半導體材料↟₪·、器件↟₪·、印刷電路板和積體電路↟₪·、精密機械行業超純水··╃·,食品↟₪·、飲料↟₪·、飲用水的製備··╃·,精細化工↟₪·、精尖學科用水··╃·,其他行業所需的高純水製備··╃·,製藥工業工藝用水··╃·,海水↟₪·、苦鹹水的淡化··╃·,製藥行業用水大輸液↟₪·、針劑↟₪·、片劑↟₪·、生化製品↟₪·、裝置清洗等··╃·,海水↟₪·、苦鹹水淡化··╃·,汽車↟₪·、家電塗裝↟₪·、鍍膜玻璃↟₪·、化裝品↟₪·、精細化學品等用超純水☁₪◕。

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